《安徽普尔斯光电科技有限公司大口径半导体玻璃晶圆衬底片暨半导体掩模板加工项目生态环境影响报告表》批前公示

项目名称 ：

大口径半导体玻璃晶圆衬底片暨半导体掩模版加工项目

建设地点：

安徽省滁州市世纪大道与苏滁大道交叉口西南侧

建设单位：

安徽普尔斯光电科技有限公司

环境影响评价机构：

安徽毅瀚环境工程有限公司

项目概况：

项目拟投资 32000 万元，占地约 45 亩，规划总建筑面积约 4.5 万平方米，建设生产厂房、研发中心、中试基地及仓储物流中心等，拟购置双面抛光设备、环抛设备、超声波大口径清洗设备、激光干涉仪、影像干涉仪等设备。项目建成达产后，可形成年产 1560 片大口径半导体晶圆衬底片暨加工 1.5 万片半导体掩模版的生产能力。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

（1） 废气：本项目废气主要为超声波清洗废气。超声波清洗废气密闭收集后经二级活性炭吸附，尾气经由 15m 高排气筒 DA001 排放。 项目运营期非甲烷总烃有组织排放执行安徽省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 -- 第 5 部分：电子工业》（ DB 34/ 4812.5 — 2024 ）中限值要求。厂区内非甲烷总烃无组织排放执行（ DB 34/ 4812.5 — 2024 ）表 3 中排放限值。厂界非甲烷总烃无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（ GB16297-1996 ）表 2 中限值要求。

（2） 废水：本项目废水主要为生活污水、生产废水和纯水制备浓水，生活污水经化粪池预处理，生产废水经厂区内污水处理站处理。处理后的生活污水、生产废水，与纯水制备浓 水，满足滁州市第二污水处理厂接管标准和《污水综合排放标准》（ GB8978-1996 ）表 1 中 B 级标准，接入滁州市第二污水处理厂集中处理，达标排放。

（ 3 ）噪声：对 高噪声源进行基础减振、隔声等降噪措施，运营期项目法定厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（ GB12348-2008 ）中 3 类标准。

（ 4 ）固废：设置 1 间 10m 2 的一般固废库和 1 间危废间 20m 2 ， 一般固废废包装材料、废边角料、不合格品、沉渣、污泥收集后外售综合利用；废切割液、废研磨液、废清洗液、废润滑油、废油桶、废含油抹布、废包装桶、废活性炭等危险废物，收集后暂存于危废暂存间，定期委托有危废处理资质的单位安全处置；生活垃圾由环卫统一清运。

公众参与情况：

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建设单位或地方政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

相关文件

听证权利告知：

依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目生态环境影响评价文件审批意见要求听证。

办理部门：

滁州市行政服务中心生态环境局窗口

联系电话：

0550-3215626

传真：

0550-3925175

通讯地址：

安徽省滁州市南谯南路和同乐路交叉口西南角、政务中心东北角滁州市行政服务中心生态环境局窗口