拟在建项目

广州粤芯四期集成电路制造有限公司新增离子注入机、X射线分析仪、电子枪、X射线荧光光谱仪、透射电子显微镜应用项目

发布时间：2026-10-26 15:50:12 地区：440000 440100 440112000000 建设单位：-- 项目ID：13588102
投资额--
项目地区440000 440100 440112000000
建设单位--
项目类型拟在建项目
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一、项目基本信息

项目名称广州粤芯四期集成电路制造有限公司新增离子注入机、X射线分析仪、电子枪、X射线荧光光谱仪、透射电子显微镜应用项目
项目类型拟在建项目
项目地区440000 440100 440112000000
投资额--
建设单位--
发布时间2026-10-26 15:50:12

二、项目正文

项目名称广州粤芯四期集成电路制造有限公司新增离子注入机、X射线分析仪、电子枪、X射线荧光光谱仪、透射电子显微镜应用项目
建设地点广东省广州市黄埔区凤凰五路26号自编1栋2号占地面积
（平方米）		47195
建设单位广州粤芯四期集成电路制造有限公司法定代表人陈谨
联系人吴宏伟联系电话193****1109
项目投资(万元)1126000环保投资(万元)21327
拟投入生产运营日期2026-12-20
建设性质新建
备案依据该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模一、广州粤芯四期集成电路制造有限公司新增新增离子注入机、X射线分析仪、电子枪、X射线荧光光谱仪、透射电子显微镜应用项目。二、建设规模；使用中科信CI C60XP型大束流离子注入机（最大管电压80kV，最大管电流20mA，数量4台）使用SRII High Energy IMP型高能离子注入机（最大管电压110kV，最大管电流2mA，数量1台）使用Purion XE型高能离子注入机（最大管电压90kV，最大管电流2mA，数量1台）。使用中科信CIP900中束流离子注入机（最大管电压230kV，最大管电流3mA，数量4台）。使用TXRF 310型X射线分析仪（最大管电压35kV，最大管电流255mA，数量1台）。XPS3000的电子枪（最大管电压20KV，最大管电流3MA 数量1台）。ATX-110 X射线荧光光谱仪(最大管电压50KV 最大管电流0.9MA,数量1台)。使用Metrios AX型透射电子显微镜（最大管电压200kV，最大管电流0.075mA，数量1台）； 三、射线装置使用地点:离子注入机、X射线分析仪、电子枪、X射线荧光光谱仪、位于12英寸芯片生产厂房3楼，透射电子显微镜使用地点位于分析实验室。
主要环境影响采取的环保措施及排放去向
环保措施:
环保措施:环保措施:一、污染防治措施：1、警示标识：公司 X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施：（1）整个机台是由不同厚度的金属组成，各模块之间无缝衔接，样品室需保持一定的真空度，才可以开启电子枪高压，否则无法开启电子枪高压。存储样品的真空样品仓和电子枪部分中的金属壁对产生的X射线进行屏蔽，免于泄漏；（2）离子注入机安装在8mm的钢板底座上，底座上铺设 铅板，厚度6.45mm，其中铅的厚度为2.0mm。三边为隔离门，每个门都含有 2.0mm厚的铅板。另一边为隔离墙。中间为钢结构，两边铺以铅板， 天花板也为钢结构，铺以2.0mm的铅版。所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。由于离子辐射主要来自离子的加速过程， 离子注入机 将离子源，吸极。线性加速单元组成一个独立的空间，该空间的地板，门隔离墙，天花板都含有2.0mm厚的铅板，组成一个铅密闭的空间。三边为隔离门, 另一边为隔离墙,所有的接缝都铺以额外的铅条以密封。离子注入机工作时有高压，辐射危险，机台工作时禁止人员进入机台， 整个机台四周有隔离门，所有的门都有连锁装置，当门没有完全关闭时，高压将不能开启，当高压开启后， 所有的门将自动上锁，防止人员误入机台。 同时机台有警告的黄灯亮起。3、防护用品和监测仪器：公司为辐射工作人员配备个人剂量计，配备1 台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、建立规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案；3、有辐射事故应急措施及定期进行演习；4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；5、调试仪器时，工作人员需佩戴个人剂量检测器，参加辐射安全和防护知识培训。
承诺：广州粤芯四期集成电路制造有限公司 陈谨承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 广州粤芯四期集成电路制造有限公司，陈谨 承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：202644011200000612。
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