非制冷红外探测器MEMS流片关键工序工艺研发及产业化项目第一次公示

• 建设项目名称：非制冷红外探测器MEMS流片关键工序工艺研发及产业化项目
• 项目地址：陕西省西咸新区沣东新城天章大道智能制造创新园2号厂房西户一层
• 建设内容：购置PVD/氧化钒沉淀设备、钝化膜沉淀设备PECVD、晶圆清洗设备等，建设非制冷红外探测器MEMS流片关键工序生产线，建成后年产非制冷红外12英寸MEMS晶圆5700片。
• 项目性质：新建（迁建）
• 工程及其环境保护情况：本项目仅在预留的西南侧区域扩建生产区并新增生产设施，目由主体工程、辅助工程、公用工程以及环保工程组成，主要建设有机废气处理措施、酸性废气处理措施、碱性废气处理措施；危险废物妥善贮存于危废贮存库，定期交有资质单位处置；选取低噪音设备，采取隔声减振、厂房隔声措施，项目产生的污染物在采取本次环评提出的各项环保措施的前提下，项目污染物均能做到达标排放，对外环境影响较小。

• (1) 建设单位：西安英孚瑞科技有限公司
• (2) 联系人：贾福强
• (3) 联系电话：15991715917
• (4) 通讯地址：陕西省西咸新区沣东新城天章大道智能制造创新园2号厂房

• (1) 评价单位：
• (2) 联系人：
• (3) 联系电话：
• (4) 通讯地址：
• (5) 电子邮箱：

公众可通过来函、来电、传真、发送电子邮件等方式，在规定时间内将填写的公众意见表等提交我单位，反映与建设项目环境影响有关的意见和建议。公众提交意见时，应当提供有效的联系方式，鼓励公众采用实名方式提交意见并提供常住地址。